Profilometrie von additiv gefertigten rauhen Metallenoberflächen unter Verwendung von Fokusvariationsmikroskopie

Abb. 1: (links) Schematischer Aufbau der Fokusvariationsmikroskopie, (rechts) Foto des Fokusvariationsmikroskop-Aufbaus.

In diesem Projekt wird ein Fokus­va­ria­ti­ons­mi­kros­kop (FVM) konstruiert, mit dem die Flä­chen­to­po­gra­phie und die Flächenstrukturparameter von Metall-additiv hergestellten rauen Oberflächen gemessen werden. Ein Ringlicht in Kombination mit koaxialer Beleuchtung wird untersucht, um aufgrund des hohen Unregelmäßigkeitsgrades der Oberflächen, insbesondere des Auftretens steiler Flanken, eine Rundumbeleuchtung zu erzielen. Die rekonstruierte Oberfläche weist durch lokale Fehler entstandene  Mängel auf, die durch bestimmte Bereiche der bei der Tie­fen­ab­tas­tung auf­ge­nom­men defokussierten Bildern verursacht werden. Ein Algorithmus, der auf Autokorrelationsfunktionen bestimmter Bilder basiert, wird entwickelt, um diese Fehler zu beseitigen.

Abb. 2: (links) (a) Abbildung unter Verwendung koaxialer Beleuchtung, (b) Abbildung unter Verwendung von Ringlicht-Beleuchtung, (c) Abbildung unter Verwendung von Ronglicht und koaxialer Beleuchtung, (rechts) Beispiel einer rekonstruierten Oberfläche eines nach der Metall-additiven Methode hergestellten Werkstücks.

Ansprechpartner

M.Sc. Xin Xu