Aktuelle Forschungsprojekte
Projektliste
- Formmessung an Präzisionsbauteilen mit einem dynamisch nachgeführten interferometrischen Zeilensensor (DFG, Gemeinschaftsprojekt mit der Physikalisch Technischen Bundesanstalt (PTB))
- Multisensor Mess- und Referenzsystem zur Durchführung von Vergleichsmessungen unter reproduzierbaren Umgebungsbedingungen (DFG, Großgeräteprojekt)
- Ortsfrequenzaufgelöste Mikrotopographieerfassung durch hochaperturige RGB-Interferenzmikroskopie mit wellenlängenselektiver Pupillenausleuchtung (DFG)
- Herstellung von spezifischen 3D Nanopartikeln und Nanostrukturen für die Entwicklung einer automatisierten optischen Charakterisierung auf Basis adaptiver hochauflösender Interferenzsmikroskopie (DFG, Gemeinschaftspr. mit Prof. Hillmer, INA, Uni Kassel)
- Miniaturisiertes Zwei-Wellenlängen-Interferometer mit Schwingspiegel zur sinusförmigen Phasenmodulation (BMWi, ZIM)
- Entwicklung ganzheitlicher Konzepte zur hochauflösenden Messung von Mikrostrukturen auf Basis scannender und abbildender optischer Verfahren (DFG, Gemeinschaftsprojekt mit der TU Ilmenau, Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske)
- Nahfeldunterstützte kurzkohärente Interferenzmikroskopie für die 3D-Messung von Submikrometerstrukturen (DFG)
- Inline-fähiges Mirau-Weißlichtinterferometer (BMWi, WIPANO)
- Profilometrie von additiv gefertigten rauhen Metallenoberflächen unter Verwendung von Fokusvariationsmikroskopie