Die optische Messtechnik ist bei der Erfassung von Topografien und lateral ausgedehnten Strukturen oft das Mittel der Wahl, da sie schnell und markerfrei Oberflächen erfassen kann. Während axial Auflösungen im einstelligen Nano­me­ter­be­reich erzielt werden können, ist die Auflösung in laterale Richtung physikalisch begrenzt. Diese Grenze zu überwinden ist Gegenstand in vielen Bereichen aktueller Forschung.

In diesem Projekt wird mithilfe von Mikrokugeln, die als zusätzliches optisches Element im Nahfeld fungieren, eine Auflösungsverbesserung erzielt. Das Augenmerkt liegt insbesondere auf In­ter­fe­renz­mi­kros­ko­pen mit hohen Numerischen Aperturen, welche ohne Mikrokugeln schon eine hohe Auflösung bieten, die nicht durch Auswahl anderer optischer Bauelemente verbessert werden kann.

Des Weiteren soll im Verlauf des Projekts geklärt werden, welche physikalischen Mechanismen der Auflösungsverbesserung zugrunde liegen und ein theoretisches Erklärungsmodell erarbeitet werden.