Inline-fähiges Mirau-Weißlichtinterferometer
Für die Messung präzisionsbearbeiteter Oberflächen mit einer Höhenauflösung im Nanometerbereich hat sich die Weißlichtinterferometrie (WLI) durchgesetzt. In einem vorherigen Projekt wurden ein Michelson- und ein Linnik-Interferometer entwickelt, die durch passive Kompensation von Störschwingungen in produktionsnahen Bereichen eingesetzt werden können. Die Kompensation der WLI Informationen erfolgt mithilfe eines in den Aufbau integrierten, abstandsmessenden Laserinterferometers. Um die Robust- und Kompaktheit des Systems zu verbessern wird im aktuellen Projekt der Einsatz als Mirau-Interferometer realisiert. Zusätzlich dazu wird der Einfluss kostengünstiger Linearachsen untersucht, deren Gleichlaufschwankungen durch das Laserinterferometer mit erfasst und nachfolgend korrigiert werden sollen.
Der zu entwickelnde Algorithmus wird in der Lage sein, Messungen in Echtzeit auszuwerten, wodurch die Dauer der Messung nur durch die Geschwindigkeit des Weißlicht-Tiefenscans begrenzt sein wird.