Formmessung an Präzisionsbauteilen mit einem dynamisch nachgeführten interferometrischen Zeilensensor
Im Rahmen des Projektes wird ein interferometrischer Messaufbau entwickelt, welcher Formabweichungen rotierender Präzisionsbauteile mit einem Radius von über 100 mm erfasst. Die Oberfläche des Messobjektes wird mithilfe einer Hochgeschwindigkeits-Zeilenkamera mit einer Zeilenrate von bis zu 200.000 Zeilen pro Sekunde sukzessive in mehreren bis zu 8 mm breiten ringförmigen Subaperturen erfasst, welche mithilfe eines Stitching-Programmes zur Gesamttopografie zusammengesetzt werden. Zwischen den Einzelmessungen wird der Sensor von einem Bewegungssystem repositioniert und der Neigung der Oberfläche innerhalb des Messfeldes nachgeführt. Aus den von der Kamera erfassten Intensitätssignalen werden vom System in Echtzeit Höhenwerte errechnet, was die für die Auswertung erforderliche Zeit reduziert. Zwei zur Messung mit dem Liniensensor simultan messende interferometrische Punktsensoren werden zur Korrektur von Positionierungsabweichungen durch das Bewegungssystem verwendet.