Current projects
Overview
- Neuartige hochempfindliche Sensortechnologie für die Gasanalyse
- Höchstauflösende 3D NanoImprint Stempel und NanoImprint-Technologie
- Optische Sensorarrays
- Mikrospiegelanordnungen zur Tageslichtlenkung
- Weit durchstimmbare hochselektive optische Filter und Empfängerbauelemente für WDM Systeme
- Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL) für den UV-Bereich
- Sichere und verlässliche Strukturen
- Quasi-monolithische Integrationstechnologie für Hochfrequenzschaltungen
- Multischichtstrukturen für die Lithographie im extremen UV (EUVL)
- Photonische Kristalle
- Kunst mit Nanostrukturen
- Durchstimmbares optisches Sensorarray (TOSA)
- NanoImprint Pharmakon (NIP)