Reinraum

Im INA betreiben wir 400qm Reinraum unterschiedlicher Reinraumklassen, die wir an dieser Stelle kurz vorstellen möchten.

Im Bereich der Reinraumklasse 10.000 befinden sich in der Hauptsache unsere Plasma- und Depositionsanlagen. Da die Proben während des Prozesses nicht unmittelbar der Atmosphäre des Reinraums ausgesetzt sind, sondern dafür in die Vakuumkammern der jeweiligen Anlagen eingeschleust werden, bestehen hier keine so hohen Anforderungen an die Reinraumklasse.

Ferner befinden sich in diesem Bereich mehrere Nasschemiearbeitsplätze sowie spezielle Geräte zur Charakterisierung von Oberflächenstrukturen, wie Profilometer, Weißlichtinterferometer und Ellipsometer.

Der Bereich Klasse 100 ist der Lithographie vorbehalten. Dieser sensible Schritt in der Strukturierung jeder Probe definiert alle später entstehenden Strukturen. Hier auftretende Störungen pflanzen sich vollständig in die nachfolgenden Prozessschritte fort. Geringstmögliche Partikelzahl ist daher eine unausweichliche Vorrausetzung für ihre erfolgreiche Definition. Die Beleuchtung hier ist mit einem blau/UV-Filter ausgestattet, um die in der Lithographie eingesetzten Photolacke vor der vorzeitigen Belichtung durch Tagesicht zu schützen, wodurch ein gelber Farbeindruck entsteht.

Als eines von wenigen Hochschulinstituten verfügt das INA über einen Klasse 1 Reinraum-Bereich. Dieser Bereich ist vom übrigen Reinraum nochmals durch eine Schleuse mit Umkleidebereich und Personenluftdusche getrennt. Er beinhaltet eine Ion Beam Sputtering Deposition (IBSD) Anlage der Firma Roth & Rau zur Abscheidung hochreiner Schichten.