Abgeschlossene Arbeiten

  • 2021, “Marek Smolarczyk”, “Doktorarbeit”, „Entwicklung einer selbstjustierenden Formgebungsstruktur zur Herstellung formspezifischer 3D-Partikel basierend auf Nanoimprint-Technologie.“
  • 2021, „Poonam Jangir L.“, „Masterarbeit“, „An Automated temperature gradient offset wafer level test setup for MEMS accelerometers”.
  • 2021, „Adrian Schatek“, „Bachelorarbeit“, „Substrukturierung Halbellipsoider PDDMS-Strukturen Mittels SCIL”.
  • 2021, „Shilby Baby“, „Masterarbeit“, „Investigation of Inclined UV Exposure Lithography for Fabrication of 3D Photoresist Structure with Leading Edge and Undercut”.
  • 2021, „Peter Bergmaier“, „Bachelorarbeit“, „Herstellung und Funktionsüberprüfung der Treiberschaltung zur Aktuation selektiv adressierbarer Subfelder in einem Mikrospiegelarray”.
  • 2021, „Treesa Thomas“, „Masterarbeit“, „Investigation on the Size Scaling of MEMS Shutters for Laser Safety Goggles”.
  • 2021, „Qifeng Bi“, „Masterarbeit“, „Evaluation and Improvement of Flat Microshutter Array with Larger Opening Angle”.
  • 2021, „Shareena Muringakodan“, „Masterarbeit“, „Design, fabrication and charaterization of a master template for Fabry–Pérot filters with nanoimprinted cavities in NIR range”.
  • 2021, „Chaithanya Aravind Chanda“, „Masterarbeit“, „Investigation and comparison of technological process for Micro Shutter Arrays: Fabrication, Characterization and Assessment”.
  • 2021, „Marie Mbewou”, „Bachelorarbeit”, „Untersuchung der Leitfähigkeit von SiO2-Isolationsschichten zur großflächigen Herstellung von Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung”.
  • 2020, „Steffen Liebermann”, „Bachelorarbeit”, „Entwurf und Entwicklung einer Treiberschaltung zur Aktuation selektiv adressierbarer Subfelder in einem Mikrospiegelarray”.
  • 2020, „Dennis Löber“, „Masterarbeit“, „Production, Characterisation and Tuning of Micro Structured Ferrocenyl Containing Copolymer Layers”.
  • 2020, „Anjusha Nandakumar“, „Masterarbeit“, “Evaluation and Optimization of Micromirror Arrays Fabricated with Zirconium”.

  • 2020, „Md Kamrul Hasan“, „Masterarbeit“, „Development of Fluorine-doped Tin Oxide (FTO) Structuring Process by Wet Chemical Etching for the Application of Subfield Addressing in Micromirror Arrays“.

  • 2020, „Tanzila Nurjahan“, „Masterarbeit“, „Investigation of vertical electron transport mechanisms in thin SiO2 layers of micro shutter arrays: experimental and comparison to conduction models“.
  • 2020, „Philipp Graßhoff“, „Bachelorarbeit“, „Optimierung des SCIL-Verfahrens zur Herstellung dreidimensionaler Metall-Strukturen mittels doppelter Nanoimprintlithographie“.
  • 2020, "Naureen Ahmed“, "Masterarbeit“, „Multi-stopband Fabry -Pérot filter arrays for nanospectrometers in expanded RGB range: Residual layer investigation and alternative cavity layer fabrication.“
  • 2019, “Uh-Myong Ha”, “Doktorarbeit”, „Gast-Partikel in mikroskaligen, dreidimensionalen Wirts-Partikeln: Herstellung durch Nanoimprintlithographie und ihre Charakterisierung.“
  • 2019, „Margarita Reit“, „Bachelorarbeit“, „Technologische Herstellung von Mikrospiegel-Arrays und deren Charakterisierung.“
  • 2019, „Sapida Akhundzada“, „Masterarbeit“, „Evaluation & Optimization of Photolithography Processes to Pattern Negative Photoresist Based on a Bi-layered Photomask.“
  • 2019, „Marcus Soter“, „Bachelorarbeit“, „Optimierung des rNIL-Verfahrens für anisotrope Mehrkomponenten Partikel zur Herstellung von multifunktionalen Imprintpartikeln.“
  • 2019, „Hans Wilke“, „Doktorarbeit“, „Organische oberflächenemittierende Laser mit vertikaler Kavität.“
  • 2019, „Krishna A. Ekaputera“, „Bachelorarbeit“, „Design, technologische Herstellung und Charakterisierung von strukturierten leitfähigen Dünnfilmstrukturen für Steuerung aktiver Fenster.“
  • 2019, "Sven Henning", "Masterarbeit", "Optimization of the Dry Etching Process for a Surface Emitting Laser (CoreSEL)"
  • 2019, “Marco Künne”, “Masterarbeit“, “Optical characterization and modification of materials for photonic applications”
  • 2019, “Lukas Becker”, “Masterarbeit“, “Simulation and Investigation of Bloch Surface Waves for Nanophotonic Applications”
  • 2019, “Eireen Käkel”, “Masterarbeit“, “Entwicklung eines mehrstufigen Imprint-Prozesses zur Herstellung von zwei- und dreidimensionalen Metallstrukturen“
  • 2019, “Josmy Jose”, “Masterarbeit“, “Stiction prevention in horizontal micromirror array during drying process investigation and optimization”
  • 2019, “Tobias Grabsch“, „Masterarbeit“, “Fabrication of Anisotropically Shaped Polymer Particles via Reversal Nanoimprint Lithography and Their Functionalization“
  • 2019, “Christine Heume”, “Masterarbeit“, “Reduktion der mechanischen Spannung in ZrO2-SiO2-Multischichtsystemen und Entwicklung organischer UV-VCSEL“
  • 2019, “Wubishet Damtie”, “Masterarbeit“, “Finite Element Analysis of Residual Stress and Actuation Characteristics for Micromirror Structures”
  • 2019, "Sabrina Reuter", "Doktorarbeit", "Entwicklung eines Nanoimprint-Prozesses zur Herstellung von dreidimensional strukturierten Nanopartikeln mit erhöhter mechanischer Stabilität""
  • 2018, “Andreas Tatzel”, “Doktorarbeit”, “ Entwicklung und Herstellung eines Labor-Demonstrators für Mikropspiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung”
  • 2018, „Manuel Wegelin“, „Bachelorarbeit“, „Entwicklung einer Methode zur Messung von elastischen und thermischen Eigenschaften dünner, metallischer Schichten mittels Weißlichtinterferometrie“
  • 2018, “Emmanuel Elawaure”, “Bachelorarbeit”, “Charakterisierung dielektrischer Isolationsschichten von Mikrospiegelarrays basierend auf C/V-Kurvenmessungen”
  • 2018, "Burhan Kaban", "Masterarbeit", "Funktionalisierung von Polymeren durch die Reversal Nanoimprint Lithography Methode mit magnetischen und fluoreszierenden Gast-Partikeln"
  • 2018, “Yannan Shen”, “Doktorarbeit”, “Technological implementation of optimized high quality multi-stopband Fabry-Pérot filter arrays for nanospectrometers technological implementation using SCIL”
  • 2018, “Sabrina Reuter”, “Doktorarbeit”, “Model Calculations for Characterization and Implementation of Vertical Thin-Layer Structures with Distributed Cavity Mode for Filter and Laser Applications”
  • 2017, “Boni Anisuzzaman”, “Masterarbeit”, “Design and Analysis of low concentrated gas sensors based on Surface Plasmon Polariton and photonic chrystal”
  • 2017, "Sapida Akhundzada”, “Bachelorarbeit”, “Fabrication of daylight guiding systems based on large-area Micromirror-Arrays"
  • 2017, “Marius Niggemann”, Masterarbeit”, “ Aktuierung durch einen exponentiell fallenden Spannungspuls, Charakterisierungsmethoden der Isolierschicht"
  • 2017, Joachim Klinner”, “Doktorarbeit”, “Development and assessment of volume resolving velocimetry for turbomachinery test facilities”
  • 2017, "Marcel Beuler“, „Doktorarbeit“, „Eine dedizierte Prozessor-Architektur zur effizienten Berechnung leitfähigkeitsbasierter neuronaler Netze“
  • 2017, “Shaik Ashaduzzaman”, “;Masterarbeit”, “Investigation and Optimizations of an Erbium-doped Fiber Amplifier for a Low-Earth Orbit Satellite Mission”
  • 2017, “Mobarak Hossain”, “Masterarbeit”, “Stress & planarity Tuning of the Micromirrors Spatial Light Modulators (SLM)”
  • 2017, „Vijay Ramya Kolli“, „Doktorarbeit“, „ Residual-layer-free 3D nanoimprinting using novel hybrid soft templates“
  • 2017, „Katja Babuschkin“, „Bachelorarbeit“, „Ermittlung einer Ätzstrategie für AMONIL auf Silizium und Untersuchung des Belichtungsverfahrens von AMONIL zur Reproduktion eines Mastertemplates“
  • 2017, ‚Muhammad Ikram Hafiz“, „Doktorarbeit“, „Optical sensor array based nanospectrometer: fabrication of high resolution 3D nanoimprint master templates and bonding of Fabry-Pérot filter array onto photodetector array”
  • 2017, „Didem Öztürk„, „Diplomarbeit“, „Erstellung eines 3D Nanoimprint Mastertemplates mittels Elektronenstrahllithographie und Trockenätzverfahren zur Erstellung von halb ellipsoiden Strukturen“
  • 2017, „Deniz Kilinc“, „Diplomarbeit“, „Optimierung des Herstellungsprozesses von Mikrospiegel-Arrays für Lichtlenksysteme hinsichtlich eines neuen Isolationsmaterials auf Basis eines anorganisch-organischen Hybridpolymers“
  • 2017, “Jonas König“, “Bachelorarbeit”, „Charakterisierung und Optimierung der elektrischen Eigenschaften von Mikrospiegel-Arrays “
  • 2016, “Prajwal Doddaballapura”, “Masterarbeit”, “The study of far-off-axis scintillation progression in atmospheric laser links”
  • 2016,“Basim Khudhair Al-Qargholi“, “Doktorarbeit”, „Development, evaluation and optimization of fabrication processes for daylight guiding systems based on micromirror arrays“
  • 2016, “Andreas Jäkel”, „Doktorarbeit“, “Intrinsisch verspannte Aluminiumschichten zur Herstellung von tageslichtlenkenden Mikrospiegel-Arrays”
  • 2016,”Tanzir Ahmed”,”Masterarbeit”,”Fabrication and Characterization of Stress Compensated DBR for Tunable Optical Sensor Arrays by Investigation and Optimization of Si3N4/SiO2 PECVD Processes”
  • 2016,“Natalie Worapattrakul”,  “Doktorarbeit”, “Micromirrors for Daylight Steering Applications: Planarization of Micromirror Planes by Sub-Structure Implementation and Process Transfer to Nanoimprint Fabrication Technology”
  • 2016, “Huanping Luo”, „Doktorarbeit“, „Mixed Signal CMOS ASIC mit integrierten frei verschalteten Photoioden und Signalvorverarbeitung zur adaptiven Ortsfrequenzfilterung”.
  • 2016, “Ayodeji Adegbenro”, “Masterarbeit”, “Comparison of novel and state-of-the-art solar cells: materials, design, fabrication, efficiency, life cycle, sustainability and cost”
  • 2016, „Anik Zaman“,“Masterarbeit“, ”Investigation of Fabry-Pérot filter arrays in the visible range with wide spectral sensing range using multiple DBRs“
  • 2016, “Sven Blom”, “Doktorarbeit”, „Intrakavitäts Absorptionsspektroskopie von Spurengasen mit hoher Sensitivität und Selektivität auf Basis konkurrierender Moden eines Halbleiterlasers“
  • 2016, “Jennifer Steger”, “Doktorarbeit”, “Development of an Approach for Determination of Venous Needle Dislodgements during a Dialysis Treatment”
  • 2016, Muath Abatain”, “Masterarbeit”, “Fabrication and characterization of 3D nanoimprint technology for NIR Fabry-Pérot filter arrays”
  • 2016, “Sultan Alshaibani”, “Masterarbeit”, “Optimization & characterization of the SCIL nanoimprint process for CMOS detector array”
  • 2016,''Duc Toan Nguyen'', ''Doktorarbeit'',''3D nanoimprint technology for NIR Farby-Pérot filter arrays: Fabrication, characterization and comparison of different cavity designs''
  • 2016, “Ravi Mugali”, Masterarbeit”, “Analysis of tolerances during dynamic laser processing using a laser scanner and mechanical axes simultaneously”
  • 2016, “Roman Felde”, “Bachelorarbeit”, “Entwicklung einer Stroboskopbeleuchtung mit Hochleistungs-LED für die Weißlichtinterferometrie”
  • 2016, „Manuel Schaumburg“, „Masterarbeit“, „Entwicklung einer digitalen Prüfumgebung für die Erkennung von Alarmzuständen der Dialysemaschine Dialog iQ“
  • 2016,”Anna Miriam Knauß”,”Masterarbeit”,”MEMS-based tunable Fabry-Pérot filter arrays for fluorescence detection with regard to biosensing of Ochratoxin A”
  • 2016,”Imran Memon”,”Doktorarbeit”,”Fabrication and Characterization of Efficient Optical Filter Arrays Implemented by 3D Nanoimprint”
  • 2016,”Shashank”,”Masterarbeit”,”Novel Actuation Concept of Micromirror Arrays for Large Area Applications”
  • 2016,"Safoura Nazemroaya","Masterarbeit","Optimization of substrate conformal imprint lithography: controlling the residual layer and evaluation of stamp durability"
  • 2015, “Lukas Becker”, “Bachelorarbeit”, “Aufbau, Charakterisierung und Automatisierung einer durchstimmbaren Lichtquelle zur Vermessung von Nanospektrometer-Prototypen”
  • 2015,"Marcel Lotzgeselle","Bachelorarbeit","Investigation of the Infiltration Process for a Survace Emitting Laser (CoreSEL)"
  • 2015,"Ferdinand Messow","Doktorarbeit","Hybride, ultraviolett emittierende Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser mit komplexer Rückkopplung"
  • 2015,"Elechi Edwin Afam","Masterarbeit","Quality impprovement of 3D nanoimprinted cavities and controllability investigation of residual layers for Static Fabry-Pérot filter arrays"
  • 2015, “Steffen Schumann”,  “Doktorarbeit”, “ THz Plasma Waves in Field-Effect-Transistors: A Monte Carlo Study”
  • 2015,"Felix Dorant","Bachelorarbeit","Herstellung dielektrischer photonischer Kristalle mittels Elektronenstrahllisthographie und reaktivem Ionenätzen"
  • 2015,"Koustav Banerjee","Masterarbeit","Design and characterisation of a novel layer system for Micromirror arrays"
  • 2015,"Osabiku Ugochukwu Junior","Masterarbeit","3D structure fabrication with the Self-Aligned Nanoshaping Technique (SANS) and investigation of alignment angle during shaping"
  • 2015,"Karsten Düchting","Bachelorarbeit","Optimierung zweier Messaufbauten zur spektralen und polarisationsabhängigen Charakterisierung photonischer Kristalle im NIR-Bereich"
  • 2015,"Heiko Fülle","Bachelorarbeit","Charakterisierungsmessplatz für dielektrische Photonische Kristalle im NIR-Bereich"
  • 2015,"Nikolai Yurttagül","Masterarbeit","Kontorlle der mechanischen Spannung in PECVD Siliziumnitrid/Siliziumoxid Multischichtsystemen"
  • 2015,"Christine Heume","Bachelorarbeit","Untersuchungen zum Reaktiven Ionenätzen und Kritisch-Punkt-Trocknen von Al2O3/SiO2 DBR-Strukturen für komplex gekoppelte UV VCSEL"
  • 2015,"Mfon Anietie Awak“,“Masterarbeit“,“Investigation of Temperature Dependency for Static and Tunable Sensor Arrays”
  • 2015, "Abdulaziz Alodadi", "Masterarbeit","Investigating directional and bidirectional anisotropic Dry Etching of V-Groove walls with Reactive-Ion Etching and a Faraday cage for a novel Self-Aligned Nanoshaping technique (SANS)“
  • 2015, "Naif Alshamrani", "Masterarbeit", "Implementation of precise alignment structures based on Moiré effect for 3D Substrate Conformal Imprint Lithography (SCIL)"
  • 2014, “Muhammad Rizwan Amirzada”,”Doktorarbeit”,”Optimization in the Technological Steps for the Fabrication of Large Area Micromirror Arrays”
  • 2014,"Jyoti Chandra Shrestha","Doktorarbeit","Theoretical and Experimental Study of Intracavity Laser Absorption Spectroscopy"
  • 2014, "Anayat Ullah", "Doktorarbeit", "Optimization of the mechanical and optical properties of tunable optical sensor arrays for a Nanospectrometer in the VIS and NIR spectral range"
  • 2014, "Salman Alfihed","Masterarbeit", "Development of aFabrication Process for Al2O3/SiO2 based Ultraviolet Complex-Coupled Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser"
  • 2014, "Bandar Almutairi", "Masterarbeit", "Fabrication of a master template for nonvertical continous 3D structures"
  • 2014, "Abdullah Alatawi", "Masterarbeit", "Optimization of the structuring process for Hybrid VCSEL (CoreSEL)"
  • 2014, "Dhaifallah Almutairi", "Masterarbeit", "Deposition and characterization of Fabry-Pérot filter on a silicon based photodetector"
  • 2014, "Abdullah Ali Alhamoud", "Masterarbeit", "Improving the fabrication of self-aligned double mold stamps to fabricate nano- and microparticles specifically shaped in 3D and optimizing the particle shaping process"
  • 2014, „Nico Storch“, „Doktorarbeit“, „Hochsensible Intrakavitäts-Absorptionsspektroskopie von Spurengasen unter Ausnutzung der Modenkonkurrenz eines Halbleiterlasers“
  • 2014, "Usman Masud", "Doktorarbeit", "Investigation on highly sensitive optical semiconductor laser based sensorics for medical and environmental applications - the nanonose"
  • 2014, „Rasydan Tahir“, „Masterarbeit“, „Investigations on Rim Formation on dielectric Materials of Nanoholes Fabricated with Femtosecond Laser Pulses“
  • 2014, „Hai Hoang“, „Bachelorarbeit“, „Entwicklung eines plasmaunterstützten Ätzprozesses für die kontrollierte Herstellung von Nanoimprintstrukturen"
  • 2014, "Burhan Kaban", "Bachelorarbeit", "Entwicklung eines Nanoimprintstempels durch Optimierung der Oberflächeneigenschaften eines großflächigen Nanoimprints"
  • 2014, „Sergej Schneider“, „Bachelorarbeit“, „Entwicklung und Herstellung eines hochauflösenden 3D-Templates für statische Fabry-Pérot-Filterarrays im sichtbaren Spektralbereich unter Verwendung unterschiedlicher Maskierungstechniken“
  • 2014, "Christian Köhler", "Diplomarbeit I","Evaluierung von Methoden zur unsichtbaren Verklebung von Low-Cost Mikrospiegel-Arrays zur Tageslichtlenkung"
  • 2014, "Lukas Faust", "Diplomarbeit I", "Charakterisierung und Optimierung mechanischer Spannung in Aluminiumschichten zur Herstellung von Mikrospiegelarrays zur Tageslichtlenkung"
  • 2014, "Uh-Myong Ha", "Diplomarbeit", "Optimierung der Graustufenlithographie zur Herstellung eines dreidimensionalen Nanoimprintstempels für die Prägung von Nanopartikeln"
  • 2014, "Mustaqim Siddi Que Iskhandar", "Masterarbeit", "Finite Element Analysis of Initial Displacement and Electrostatic Acutation for different Tunable Fabry-Pérot Filter Designs and Geometries"
  • 2013, "Daniel Sadlik", "Masterarbeit", "Entwicklung und Herstellung eines 2D NanoImprint Master Template zum Erstellen von Mikrospiegel Arrays für lichtlenkende Anwendungen"
  • 2013, "Caroline Goeb", "Bachelorarbeit", "Herstellung eines 3D-NanoImprint-Stempels mittels Fotolithographie unter Verwendung des Negativ-Fotoresists SU-8"
  • 2013,“Mohamed Ahmed Haridy Abdel-Awwad“, „Doktorarbeit“,“Optical Characterization of Organic Gain Materials for UV-emitting Hybrid Complex Coupled VCSELs“
  • 2013, "Mertshet Solomon Tsegaye", "Masterarbeit", "Fabrication of Ultraviolet-Emitting Complex-Coupled Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers"
  • 2013, "Vijay Ramya Kolli", "Masterarbeit", "Investigation on Fabricating Structured Polymer Cavity for Fabry-Pérot Filter Arrays"
  • 2013, “Lukas Jablonka”, “Diplomarbeit”, “Optimierung eines Herstellungsprozesses für pharmazeutisch anwendbare, formspezifische Nano- und Mikropartikel mittels einer selbstjustierenden Doppelprägeform”.
  • 2013, "Yi Han", "Diplomarbeit", "Fabrication and Characterization of Nb2O5/SiO2 Based Tunable Optical Sensor Array"
  • 2013, "Abdullah Khan", "Masterarbeit", "Optimization of the Vertical Design and Fabrication of Nanoimprint Cavities for Static Fabry-Pérot Filter Arrays in the Visible Range"
  • 2013,"Malte Henrich","Diplomarbeit","Temperaturabhängige optische Charakterisierung von mikromechanisch aktuierbaren Fabry-Pérot Filtern"
  • 2013, "Ogharadoro Onome","Masterarbeit","Measurement and Analysis of Relative Intensity Noise of Semiconductor Lasers"
  • 2013, "Haitao Luan","Masterarbeit","Optimization of an Optical Gain Measurement Setup to Prevent Photodegradation from Organic Planar Waveguides and Optical Invesitigation of Spiro Linked Compounds for Laser Application"
  • 2013, "Tatjana Woit","Doktorarbeit","Mikromechanisch durchstimmbare, dielektrische Fabry-Pérot-Filter im nahen Infrarot-Bereich: Konzept, Herstellung und Charakterisierung"
  • 2012, “Nadeem Al-Hareeb”, “Masterarbeit” , “Study and Optimization of Fabrication Processes of 3D Nanoimprint Master Template for Micro-mirror Based Light Guiding Application”
  • 2012, „Anna Miriam Knauß“,“Bachelorarbeit“,“ Optimierungsorientierte Verwendung eines Negativ-Photoresists als Imprintmaterial zur Herstellung von lichtlenkenden Mikrospiegeln mittels 3D-Nanoimprint-Technologie“
  • 2012,"Olga Schneider","Bachelorarbeit","Herstellung von form- und größenspezifischen Nanopartikeln für die pharmazeutische Anwendung mittels Substrate-Conformal-Imprint-Lithography: Prozessoptimierung, Partikelfreisetzung und Charakterisierung"
  • 2012,"Ludmilla Gomer","Diplomarbeit","Entwicklung eines Step-and-Repeat-Verfahrens für die Herstellung form- und größenspezifischer Nanopartikel mittels substratkonformer Imprintlithographie"
  • 2012, „André Istock“, „Diplomarbeit“, „Entwicklung und Herstellung des Mastertemplates für die Prägung dreidimensional strukturierter Nanopartikel mittels Nanoimprint-Lithografie“
  • 2012,"Jone Azpillaga Olaizola”,”Masterarbeit”,”Investigation of surface roughness of various glass types in Reactive Ion Etching technologies for application in Nanoimprint Lithography"
  • 2012,"Rubén Fernández Serrano”,”Masterarbeit”,”Investigation of Low Etching Recipes of Silicon for the Fabrication of 3D Nanoimprint Template”
  • 2012,"Ang Wei Chung","Masterarbeit","Development of a Fabrication Process for UV-Emitting Complex-Coupled Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers"
  • 2012,"Alla Albrecht","Doktorarbeit","Substrate Conformal Imprint Lithography als innovatives Verfahren zur Herstellung von Nanospektrometern im sichtbaren Spektralbereich"
  • 2012,"Tamara Meinl","Diplomarbeit","Entwicklung mikromechanisch durchstimmbarer Fabry-Pérot-Filterarrays im nahen Infrarotbereich"
  • 2012,"Yousuf Khan","Masterarbeit","Dielectric Slab Waveguide PhC Structures for Optical Filter Applications"
  • 2012,"Shuhao Si","Masterarbeit","Investigation of Structuring Processes for Tunable Optical Filters by Optimization of Protection Layer Properties"
  • 2012,"Bernhard Maier","Diplomarbeit II","Entwicklung und Herstellung eines 3D Nanoimprint Masterstempels zur optimierten Herstellung von optischen MEMS zur mikrospiegelbasierten Lichtlenkung"
  • 2012,"Francisco Josué Moncada Navaro","Masterarbeit","Theoretical Calculations and Investigation of Fabry-Pérot based spectrometers for the Near Infrared (NIR) Spectral Range"
  • 2012,"Daniel Sadlik","Diplomarbeit I","Entwicklung und Aufbau eines Messplatzes zur Charakterisierung von nanoskaligen Strukturen"
  • 2012,"Tuan Anh Bui","Simulation of Tunable Fabry-Pérot Filters using the Finite Element Method"
  • 2011,"Andreas Tatzel","Diplomarbeit II","Entwicklung und Evaluation eines Designs zur optimierten Herstellung von großflächigen Mikrospiegel-Arrays"
  • 2011,"Christian Range","Diplomarbeit I","Verbesserung eines Konzepts zur Detektion von Spurengasen"
  • 2011,"Maria Fernanda Mondragon","Masterarbeit","Charakterization of filter design for Nanospectrometer"
  • 2011,"Marek Antoni Smolarczyk","Diplomarbeit","Entwicklung einer Strukturvorlage aus Silizium für die Herstellung von Nanopartikeln mit unterschiedlichem Aspektverhältnis per NanoImprint-Verfahren für pharmazeutische Anwendungen"
  • 2011,"Marvin Barahona","Masterarbeit","Investigation of mechanical properties of multilayer structtures for micromechanical based tunable Fabry-Pérot filters"
  • 2011,"Robert Tannhäuser","Diplomarbeit II","Realisierung eines Konzepts zur Steuerung eines optischen Sensorsystems zur Spurengasanalyse"
  • 2011,"Frank Pilger","Diplomarbeit","Nanoimprint based fabrication of shape-specific particles for pulmonary drug application - Design and development of master templates"
  • 2011;"Natalie Worapattrakul","Diplomarbeit","Fabrication of shape- and size-specific nanocarriers for pulmonary drug application: Replica molding, substrate conformal imprinting and characterization"
  • 2011;"Alexander Eiffert","Diplomarbeit","Entwicklung und Herstellung von hybrieden komplex gekoppelten Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser durch Infiltration von dielektrischen Luftspaltfiltern mit organischem aktivem Material"
  • 2011;"Tania Morán Lozano","Masterarbeit","Analysis of different types of silicon oxide insulation layers for MEMS devices"
  • 2011;"Mohmed S. Salah","Masterarbeit","Investigation of Imprint Materials and Improvement of Residual Layer for Optical Sensor Arrays"
  • 2011;"Benjamin Schiel","Diplomarbeit I","Untersuchung von Nanoimprintverfahren zur Displayherstellung"
  • 2011;"Suhair Jawad","Masterarbeit","Design and Fabrication of Optical Bandpass Filters for Nanosensor Arrays"
  • 2011;"Timo Schotzko","Diplomarbeit","Herstellung und optische Charakterisierung dreidimensionaler Nanostrukturen auf stufenförmig strukturierten Oberflächen mittels Substrate Conformal Imprint Lithography (SCIL)"
  • 2011;"Imran Memon","Masterarbeit","Investigation and application of SCIL process for static sensor array"
  • 2010;"Jinsheng LI","Masterarbeit","Optimization of structuring processes of dielectric DBR mirrors for the implementation of tunable airgap Fabry-Pérot Filters"
  • 2010;"Xiaolin Wang","Dissertation","High Resolution 3D Nanoimprint Technology - Template Fabrication, Application in Fabry-Pérot-Filter-based Nanospectrometers"
  • 2010;"Thomas Kusserow","Dissertation","Periodic InP/Air Structures in Optical Filters"
  • 2010;"Mahmoud Ahmad”,”Dissertation”,”Highly Sensitive Sensor Based On Intracavity Laser Absorption Spectroscopy By Means Of Relative Intensity Noise”
  • 2010;"Sven Blom","Diplomarbeit","Charakterisierung eines faserbasierten zweimodigen Halbleiterlasersystems"
  • 2010;"Anayat Ullah","Masterarbeit","Simulation, fabrication and optimization of Bandpass filter design for Nanospectrometer"
  • 2010;"Muhammad Ali Butt","Masterarbeit","Improvement of 3D Master Template for Static Sensor Array"
  • 2010;”Christian Schilde”;”Diplomarbeit I”;“Untersuchung und Optimierung der mechanischen Spannung in Multischichtsystemen zur Herstellung mikromechanisch aktuierbarer optischer Filterarrays”
  • 2010;”Karolina Tomesova”;”Masterarbeit”;”Study on Reactive Ion Etching by Plasma Spectrometry”
  • 2010;"Sarai Lafuente Uriarte";"Masterarbeit";"Application of 3D Nanoimprint Technology for Tunable Optical Sensor Arrays"
  • 2010;"Mohammad Ikram Hafiz";"Masterarbeit";"Fabrication of optical nano-structures on the facet of optical fibers for polarization control in fiber lasers"
  • 2010;"Matthias Knape";Diplomarbeit";"Entwicklung DNA-basierter Proteinarrays mittels Mikro- und Nanostrukturierung"
  • 2010;"Stefan Wittzack";"Dissertation";"Spektrometrische Bestimmung der NO2-Konzentration im Abgas von Lastkraftwagen im Dieselmotor unter der Verwendung eines elektrisch durchstimmbaren Fabry-Pérot-Filters zur Reduzierung des Kraftstoffverbrauchs und der Schadstoffemissionen"
  • 2010;"Florestan Köhler";"Dissertation";"Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern: Herstellung mittels
    Nanoimprinttechnologie, experimentelle Charakterisierung und Anwendungen"
  • 2010;"Yangi Wang";"Dissertation";"Model Calculations and Implementation of Filters and Hybrid Green VCSELs based on Optical Thin Film Stacks"
  • 2010;"Miroslav Benes";"Masterarbeit";"Characterization Set-Up for NIR Optical Devices"
  • 2010;"Julian Sonksen";"Dissertation";"Sensor Process and Device for Determining a Physical Value: A Proof of Concept"
  • 2010;"Waleed Yehia Mohsen AL-Esayi";"Masterarbeit";"Optimization of the Design of Optical MEMS for Micromirror Based Light Guiding Application"
  • 2010;"Jyoti Chandra Shrestha";"Masterarbeit";"Characterization of fiber based laser by means of relative intensity noise (RIN)"
  • 2010;"Maria Lenk";"Diplomarbeit";"Entwicklung von hybriden komplex-gekoppelten Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasern durch Infiltration von Luftspaltfiltern"
  • 2010;"Carsten Woidt";"Diplomarbeit";"Plasmaunterstützte Depositions- und Ätztechnologien für mikromechanisch aktuierbare nanophotonische Filterarrays"
  • 2010;"Basoene Briggs";"Masterarbeit";"Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Fabry-Pérot Filter with 470 nm Central Wavelength"
  • 2010;"Markus Engenhorst";"Diplomarbeit";"Mikromechanisch aktuierbare nanophotonische Filterarrays Plasmaunterstützte Strukturierungstechnologien und Charakterisierung"
  • 2010;"Karl-Georg Nöding";"Diplomarbeit I";"Entwicklung von 3D Silizium Master Masken für Soft Nano Imprint Lithography"
  • 2010;"Jörg Clobes";"Diplomarbeit II";"Numerical Evaluation of Uniaxial Stress Compensation in Novel Multilayer Micromirror Structures for Large Area Applications"
  • 2009;"Kelash Kanwar";"Masterarbeit";"Investigation of fabrication of nanostructures for InP Fabry Pérot filters with photonic crystals"
  • 2009;"Sabrina Schudy";"Diplomarbeit";"Untersuchungen zu SpinCoating- und NanoImprint-Prozessen für optische Filterarraykavitäten"
  • 2009;"Alexander Pötzl";"Diplomarbeit";"Optimierung eines zwei-modigen faserbasierten Laserresonators für Sensoranwendungen"
  • 2009;"Adur Bartra";"Masterarbeit";"Characterization of static and tunable optical filters for medical applications"
  • 2009;"Matthias Wulf";"Diplomarbeit II";"Polarization-selective Guided-Mode Resonance Filter based on an Indium Phosphide Photonic Crystal Slab"
  • 2009;"Alexander Kricke";"Dissertation";"Quasi-monolithische Integrationstechnologie (QMIT) für High-Power-Anwendungen im Mikrowellenbereich"
  • 2009;"Mohamed Abdel-Awwad";"Masterarbeit";"Development, Optimization and Fabrication of 3D UV-transparent NanoImprint Templates"
  • 2008;"Tatjana Woit";"Diplomarbeit";"Plasmaunterstütze Deposition von dielektrischen Materialien für Fabry-Pérot-Filter"
  • 2008;"Rana Mahdi";"Masterarbeit";"Studies on Optical nanospectrometer based on sensor arrays"
  • 2008;"Nico Storch";"Diplomarbeit";"SiO2-Si Bragg-Resonator-Spiegel für hochsensitive Intrakavitäts-Absorptions-Spektroskopie Simulation, Herstellung und Charakterisierung"
  • 2008;"Daniel Boychov Todorov";"Dissertation";"Development of hybrid UV VCSEL with organic active material and dielectric DBR mirrors for medical, sensoric and data storage applications"
  • 2008;"Inna Reit;"Diplomarbeit I";"Technologische Entwicklung und Optimierung eines dreidimensionalen NanoImprint-Prozesses"
  • 2008;"Ferdinand Messow";"Diplomarbeit";"Entwicklung und Herstellung eines Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers mit ultraviolett emittierendem, organischem, aktivem Material"
  • 2008;"Onny Setyawati";"Masterarbeit";"Optimization of technological steps for the implementation of light concentrating micromirror arrays"
  • 2008;"Ricardo Zamora";"Masterarbeit";"Integration of a Photo-Detector Diode with a Tunable Air-Gap FP-Filter"
  • 2008;"Mohammad A.";"Masterarbeit";"Optimization of Fabrication Process of Optical MEMS for Micro Mirror Based Light Guiding Application"
  • 2007;"Jürgen Baumann";"Diplomarbeit I";" Entwicklung eines automatisierten Meß- und Steuersystems zur Charakterisierung von Halbleiter-Lasern für das Nachweisen von Spurengasen in der Atemluft"
  • 2007;"Julian H. Sonksen";"Diplomarbeit";" Optimization of tunable air gap Fabry-Perot filters"
  • 2007;"Andreas Jäkel";"Diplomarbeit";" Low Cost Mikrospiegel Array zur Tageslichtlenkung"
  • 2007;"Stefan Wittzack";"Diplomarbeit II";"Investigation of optical Sensorarrays based on nanoimprint structured Fabry-Pérot filters: design, application and project oriented implementation"
  • 2007;"Florestan Köhler";"Diplomarbeit II";"Investigation of optical Sensorarrays based on nanoimprint structured Fabry-Pérot filters: design, application and project oriented implementation"
  • 2007;"Xiaolin Wang";"Masterarbeit";"Experimental and Theoretical Studies on Novel Optical Sensor Arrays for Medical Applications"
  • 2007;"Schulz, Markus";"Diplomarbeit I";"Entwicklung und Herstellung eines Vertical Cavity Surface Emitting Lasers (VCSELs) unter Verwendung eines laseraktiven organischen Materials, emittierend im UV-Bereich"
  • 2007;"Daneker, Vadim";"Diplomarbeit II";"In-situ Steuerung einer Ionenstrahl-Depositionsanlage zur Optimierung von Multischichtsystemen"
  • 2007;"Sven Werner";"Diplomarbeit II";" Theoretische Modellrechnungen von optical MEMS"
  • 2007;"Saleh Ferwana";"Diplomarbeit II";" Charakterisierung und Optimierung eines Ätzprozesses zur Herstellung von InP-Luft optischen Filtern"
  • 2007;"Matthias  Wulf";"Diplomarbeit I";" Structuring of Filter Membranes with Photonic Crystals and Zone Plates"
  • 2006;"Christoph Dziendziol";"Diplomarbeit I";"Experimentelle Untersuchungen zu zweimodig oszillierenden Laserresonatoren"
  • 2006;"Thorsten Scholz";"Diplomarbeit I";" Ätzraten und Selektivitätsbestimmung an Si-Si3N4 Multischichtstrukturen zur Realisierung eines komplex gekoppelten VCSEL"
  • 2006;"Kinik, Emin";"Diplomarbeit II";"Methoden und Prinzipien für Detektion von Infrarotlicht mittels mikromechanischen Sensoren"
  • 2006;"König, Immanuel";"Diplomarbeit I";"Entwicklung einer Messstation (Software) für einen Micromachined Arch-type Cantilever als Infrarotsensor"
  • 2006;"Azimpoor Mazlaghani, Reza";"Diplomarbeit I";"Entwicklung einer elektronischen Verstärker­schaltung für die hochsensitive Gasdetektion mittels piezoresistiver Cantilever"
  • 2006;"Thorsten Böhle";"Diplomarbeit I";"Quasimonolithische Integrationstechnologie für elektronische Schaltungen"
  • 2006;"Lulu Zou";"Masterarbeit";" MBE Growth and Characterization of Al(x)Ga(1-x)As-GaAs"
  • 2006;"Julia Ackermann";"Diplomarbeit II";" Technologische Realisierung Mikrospiegelarrays"
  • 2006;"Andreas Hasse";"Dissertation";" GaInAsP-basierende Resonatorstrukturen- Physikalische Grundlagen, epitaktische Herstellung und Charakterisierung"
  • 2005;"Friedhard Römer";"Dissertation";" Charakterisierung und Simulation optischer Eigenschaften von mikromechanisch abstimmbaren Filterbauelementen"
  • 2005;"Sören Irmer";"Dissertation";" Air-Gap Based Vertical Cavity Micro-Opto-Electro-Mechanical Fabry-Pérot Filters"
  • 2005;"Amer Tarraf";"Dissertation";" Low-Cost Micromechanically Tunable Optical Devices-Strained Resonator Engineering, Technological Implementation and Characterization"
  • 2005;"Edwin O. Ataro";"Dissertation";" Micro-electromechanical Structural Design and Optimization of Vertical Cavity Photonic Devices with Wide Continuous Tuning"
  • 2005;"Akyildiz, Ilyas";"Diplomarbeit I";"Entwicklung einer mikromechanischen Infrarotkamera (Hardware)"
  • 2005;"Daneker, Vadim";"Diplomarbeit I";"Untersuchung zur nanotechnologischen Imple­mentierung von EUVL Masken auf der Basis von Ionenstrahl-Deposition"
  • 2005;"Rohrbach, Martin";"Diplomarbeit II";"Entwicklung eines modularen Anschlusssystems zur Adaptierung eines Messbus an die Standard Computerschnittstellen USB, LAN und Wireless LAN"
  • 2005;"Gollapudi, Satyanarayana";"Diplomarbeit II";"Strukturierung und Modifizierung von funktio­na­len Polymeroberflächen mittels UV-Laserstrahlung"
  • 2004;"Karsten Alex";"Diplomarbeit I";" Technologische Realisierung luftspaltbasierender optischer WDM Filter"
  • 2004;"Wang, Yanqi";"Masterarbeit";"Studies on simulation, technological implementation and characterization of complex-coupled green VCSEL structure"
  • 2004;"Krumpholz, Jens";"Diplomarbeit I";"Aufbau eines optischen Leistungsmessgerätes mit Dunkelstromkompensation und Rechnerschnittstelle"
  • 2004;"Vasu";"Diplomarbeit II";" Computational analysis on various device designs of tunable optical filters using the Finite Element Method"
  • 2003;"Oliver Richter";"Diplomarbeit I";" Stromsteuerung für thermisch durchstimmbare, vertikale DWDM-Filter"
  • 2003;"Oliveira, Marco";"Diplomarbeit II";"Technologieentwicklung von durchstimmbaren, dielektrischen Filtern"
  • 2003;"Pun-Utaiwat, Ar-Chaow";"Masterarbeit";"Optimization and fabrication of tunable multi air-gap InP-based filters"
  • 2003;"Tscherner";"Diplomarbeit I";" Technologische Untersuchung zu komplex gekoppelten vertikal resonatorbasierenden anorganisch-organischen hybrid-Laserstrukturen"
  • 2002;"Rangelov";"Diplomarbeit II";" Technologieentwicklung und Charakterisierung von mikromechanisch durchstimmbaren Filtern für DWDM-Anwendungen"
  • 2002;"Schiergott, Jan";"Diplomarbeit I";"Aufbau einer Mikrocontrollerbasierten Temperatursteuerung zur Charakterisierung von Halbleiterlasern"
  • 2002;"Bock, Daniel";"Diplomarbeit I";"Softwareentwicklung zur Steuerung einer reaktiven Ionenätzanlage"
  • 2002;"Werner, Sven";"Diplomarbeit I";"Aufbau und Inbetriebnahme eines Messplatzes für Kennlinien von Halbleiterlasern"
  • 2001;"Singh, Prabhjinder";"Masterarbeit";"Modeling and Characterization of  Optical Properties in Vertical Cavity Multilayer Devices"
  • 2001;"Stefan Schüler";"Diplomarbeit I";" Technologische Realisierung optischer Filter basierend auf Multi-Airgapstrukturen in Indium-Phosphid"
  • 2001;"Moreno, Berto";"Diplomarbeit II";"Photocurrent sensitivity spectra and farfield characterization of Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers."
  • 2001;"Prasai, Deepak";"Diplomarbeit II";"Technologieentwicklung und Untersuchungen zu stressfreien Mikromembranen für optische MEMS"
  • 2001;"John Rajeev Ojha";"Masterarbeit";"Reactive Ion Etching of Phosphorus Based Compound Semiconductors"
  • 2001;"Dara Feili";"Masterarbeit";"Software Development for a Reactive Ion Etching System and Investigations of a Novel Etchant for InP"
  • 2000;"Edwin Ataro";"Masterarbeit";" Technological Realisation of Advanced High-Speed Quasi-Monolithically Integrated Circuits"
  • 2000;"Amer Tarraf";"Masterarbeit";"Depositionsverfahren für die Herstellung vertikaler optischer Bauelemente"
  • 2000;"Carilus, Joachim";"Diplomarbeit I";"Modellierte spektrale und dynamische Eigenschaften von DFB Lasern"
  • 2000;"Ayele, Biniam";"Diplomarbeit II";"Messtechnische Charakterisierung von Vertikalresonator-basierenden photonischen Komponenten"