Publications 2010

Conference Proceedings

  • P. Lehmann,
    Resolution limitation and enhancement in optical areal measurements using interference microscopy,
    PTB-Seminar „3D Micro- and Nanometrology – Requirements and current Developments“, Braunschweig, September 2010.
     
  • J. Niehues, P. Lehmann,
    Weißlichtinterferometrie zum flächenhaften Erfassen von Mikro- und Nanostrukturen - gegenwärtige Einschränkungen und neue Ansätze,
    Sensoren und Messsysteme 2010, B6-86 482-487
     
  • M. Schulz, P. Lehmann, J. Niehues,
    Fiber optical interferometric sensor based on a piezo-driven oscillation,
    SPIE Proceedings, Vol. 7790 (2010) 77900W.
     
  • S. Boedecker, W. Bauer, R. Krüger-Sehm, P. Lehmann, C. Rembe,
    Comparability and uncertainty of shape measurements with white-light interferometers,
    SPIE Proceedings, Vol. 7718 (2010) 77180J.
     
  • M. Schulz, P. Lehmann, J. Niehues,
    Oszillierender Fasersensor zum Erfassen von Abstandsänderungen,
    3D-Tage Oldenburg Tagungsband 2010, S. 323ff.
     

Journals

  • P. Lehmann,
    Vertical scanning white-light interference microscopy on curved microstrutures
    Optics Letters 35 (2010) 1768-1770.